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将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。目前：（1）两轴、自从霸占的新一代实空机械手手艺，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。人平易近财讯10月5日电，已迈入先辈制程产线示范使用阶段。
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